مشخصه یابی ساختارهای دورآلاییده
در ساختارهای Si/SiGe/Siکه بوسیله روش رونشانی پرتو مولکولی رشد مییابند به دلیل ناپیوستگی نوار ظرفیت یک چاه کوانتومی در نوار ظرفیت و در لایه SiGeشکل میگیرد اگر لایههای مجاور با ناخالصیهای نوع pآلاییده شده باشند حفرههای لایه آلاییده به داخل چاه کوانتومی میروند و تشکیل گاز حفرهای دوبعدی در میانگاه نزدیک لایه آلاییده میدهند اینگونه ساختارها را ساختار دورآلاییده می نامند .به دلیل جدایی فضایی بین حاملهای آزاد دوبعدی و ناخالصیهای یونیده در ساختارهای دورآلاییده برهمکنش کولنی کاهش یافته و درنتیجه پراکندگی ناشی از ناخالصیهای یونیده کاهش و به تبع آن تحرکپذیری حاملهای آزاد دوبعدی افزایش مییابد .چگالی سطحی گاز حفرهای دوبعدی به پارامترهای ساختار مثلاً ضخامت لایه جداگر ، چگالی سطحی بارهای لایه پوششی ، ضخامت لایه پوششی ، و غیره وابسته است. علاوه بر این در ساختارهای دورآلاییده دریچهدار با تغییر ولتاِژ دریچه چگالی سطحی گاز حفرهای قابل کنترل میباشد . این ساختارها در ساخت ترانزیستورهای اثر میدانی مورد استفاده قرار میگیرند .
در این پایان نامه ابتدا به تشریح ساختار دورآلاییده Si/SiGe/Siمیپردازیم و سپس مدلی نظری که بتواند ویژگیهای الکتریکی گاز حفرهای دوبعدی درون چاه کوانتومی ساختارp-Si/SiGe/Si و همچنین میزان انتقال بار آزاد به درون چاه و بستگی آن به پارامترهای ساختار را توجیه کند ارائه می دهیم . در ساختار دورآلاییده معکوس p-Si/SiGe/Si دریچهدار با دریچه Al/Ti/Siاز این مدل نظری استفاده میکنیم و با برازش نتایج تجربی تغییرات چگالی سطحی گاز حفرهای بر حسب ولتاژ دریچه توانستهایم چگالی سطحی بارهای میانگاه Ti/Siدر این ساختارها را در محدوده (m-2) 1015 × 78/1 تا (m-2) 1015 × 63/4 ارزیابی کنیم
فهرست مطالب
فصل اول : ساختارهای دورآلاییده1
مقدمه 2
1-1 نیمه رسانا 3
1-2 نیمه رسانا با گذار مستقیم و غیر مستقیم4
1-3 جرم موثر 4
1-4 نیمه رسانای ذاتی6
1-5 نیمه رسانای غیر ذاتی و آلایش7
1-6 نیمه رساناهای Siو Ge 10
1-7 رشد بلور 13
1-7-1 رشد حجمی بلور15
1-7-2 رشد رونشستی مواد15
1-7-3 رونشستی فاز مایع 16
1-7-4 رونشستی فاز بخار18
1-7-5 رونشستی پرتو مولکولی 19
1-8 ساختارهای ناهمگون20
1-9 توزیع حالتهای انرژی الکترونها در چاه کوانتومی21
1-10 انواع آلایش 23
1-10-1 آلایش کپهای24
1-10-2 آلایش مدوله شده (دورآلاییدگی 24
1-10-3 گاز الکترونی دوبعدی 25
1-10-4 گاز حفرهای دوبعدی26
1- 11 ویژگی و انواع ساختارهای دور آلاییده 27
1-11-1 انواع ساختارهای دورآلاییده بهلحاظ ترتیب رشد لایهها 27
1-11-2 انواع ساختار دور آلاییده به لحاظ نوع آلاییدگی ( n یا p 28
1-11-3 انواع ساختار دور آلاییده دریچهدار29
1-12 کاربرد ساختارهای دور آلاییده 33
1-12-1 JFET 33
1-12-2 MESFET 34
1-12-3 MESFETپیوندگاه ناهمگون 35
فصل دوم : اتصال فلز نیمه رسانا (سد شاتکی38
مقدمه 39
2-1 شرط ایده آل و حالتهای سطحی 41
2-2 لایه تهی 44
2-3 اثر شاتکی 47
2-4 مشخصه ارتفاع سد51
2-4-1 تعریف عمومی و کلی از ارتفاع سد 51
2-4-2 اندازه گیری ارتفاع سد57
2-4-3 اندازه گیری جریان – ولتاژ57
2-4-4 اندازه گیری انرژی فعال سازی60
2-4-5 اندازه گیری ولتاژ- ظرفیت60
2-4-6 تنظیم ارتفاع سد 62
2-4-7 کاهش سد 62
2-4-8 افزایش سد63
2-5 اتصالات یکسوساز . 64
2-6 سدهای شاتکی نمونه 64
فصل سوم : انتقال بار در ساختارهای دورآلاییده66
مقدمه 67
3-1 ساختار دور آلاییده معکوس p-Si/Si1-XGeX/Si68
3-2 ساختار نوار ظرفیت ساختار دور آلاییده معکوسp-Si/SiGe/Si69
3-3 محاسبه انتقال بار در ساختارهای دور آلاییده71
3-3-1 آلایش مدوله شده ایده آل71
3-3-2 محاسبات خود سازگار چگالی سطحی حاملها 74
3-3-3 اثر بارهای سطحی بر چگالی گاز حفرهای 74
3-4 روشهای کنترل چگالی سطحی حاملها 76
3-4-1 تاثیر تابش نور بر چگالی سطحی حاملها 77
3-4-2 تاثیر ضخامت لایه پوششی بر چگالی سطحی حاملها78
3-4-3 دریچه دار کردن ساختار دور آلاییده 79
3-5 ساختارهای دورآلاییده معکوس p-Si/SiGe/Si با دریچه بالا 79
3-6 انتقال بار در ساختارهای دورآلاییده معکوس با دریچه بالا82
3-7 تاثیر بایاسهای مختلف بر روی چگالی سطحی حفرهها 83
3-8 ملاحظات تابع موج86
3-9 وابستگی Zav به چگالی سطحی حاملها در ساختارهای بی دریچه87
3-10 وابستگی Zav به چگالی سطحی حاملها در ساختارهای دریچهدار87
فصل چهارم : نتایج محاسبات 89
مقدمه 90
4-1 محاسبات نظری ساختارهای دورآلاییده بی دریچه Si/SiGe/Si 91
4-1-1 محاسبات نظری ns برحسب Ls 91
4-1-2 محاسبات نظری ns برحسب NA 96
4-1-3 محاسبات نظری ns برحسب nc 99
4-1-4 محاسبات نظری کلیه انرژیهای دخیل برحسب Ls 100
4-2 محاسبات نظری ساختارهای دورآلاییده دریچهدار Si/SiGe/Si 100
4-2-1 محاسبات نظری ns برحسب vg100
4-2-2 بررسی نمونه ها با nsur متغیر وتابعی خطی از vgبا شیب مثبت 107
4-2-3 بررسی نمونه ها با nsur متغیر وتابعی خطی از vgبا شیب منفی114
فصل پنجم : نتایج 124
5-1مقایسه سد شاتکی با ساختار دورآلاییده دریچه دار p-Si/SiGe/Si125
5-2 بررسی نمودارهای مربوط به چهار نمونه 125
پیوست 129
چکیده انگلیسی (Abstract139
منابع 141
چطور این فایل رو دانلود کنم؟
برای دانلود فایل کافیه روی دکمه "خرید و دانلود" کلیک کنید تا صفحه "پیش فاکتور خرید" برای شما باز بشه و توی این صفحه مشخصات خودتون رو با دقت ثبت کنید و روی دکمه "پرداخت آنلاین" کلیک کنید و بعد از اینکه توی صفحه بانک مشخصات کارت بانکی خودتون رو ثبت کردید و پرداخت انجام شد ، صفحه دانلود فایل باز میشه و می تونید فایل مورد نظر رو همراه با فایل هدیه به راحتی دانلود کنید.
با خرید از شما چه هدیه ای دریافت می کنم؟
توی سایت فایل ناب برای هر خریدار یک فایل هدیه در نظر گرفتیم که بلافاصله بعد از اولین خرید ، این فایل رو هم می تونید به راحتی دانلود کنید. لینک دانلود این فایل به همراه لینک دانلود فایل خریداری شده ، بعد از پرداخت به شما نمایش داده میشه. عنوان فایل هدیه "چطور محصولات آموزشی پرفروش بسازیم" هست که قیمتش 29000 تومنه و بصورت رایگان در اختیار شما قرار داده میشه.
آیا فایل رو بلافاصله بعد از خرید تحویل می گیرم؟
بله. بلافاصله بعد از پرداخت آنلاین ، صفحه دانلود فایل برای شما نمایش داده میشه و می تونید اون فایل رو به راحتی دانلود کنید.
هزینه رو پرداخت کردم اما نمی تونم دانلود کنم.
در سایت فایل ناب چند روش پشتیبانی رو برای راحتی شما در نظر گرفتیم تا با سرعت بیشتری به پیام های شما رسیدگی کنیم. برای دریافت سریع فایل می تونید از طریق پشتیبانی آنلاین و یا از طریق شماره 09192682620 در واتساپ با ما در ارتباط باشید و ایمیل و شماره همراهی که در زمان خرید ثبت کردید رو ارسال کنید تا فایل رو برای شما بفرستیم. همچنین می تونید از فرم تماس با ما و یا از طریق تیکت در حساب کاربری خودتون این مشخصات رو برای ما ارسال کنید تا فایل رو به ایمیل شما بفرستیم.
این فایلی که دانلود کردم با توضیحاتی که نوشته بودن فرق داره !
اگه فایل با توضیحات همخوانی نداره کافیه از طریق تیکت این موضوع رو به ما اطلاع بدید. ما فایل رو بررسی میکنیم و یا فایل اصلی رو به ایمیل شما میفرستیم و یا اینکه هزینه ای که پرداخت کردید رو به حسابتون برگشت میزنیم. توضیحات کامل تر در این خصوص رو می تونید توی صفحه "راهنمای خرید و دانلود" مطالعه کنید.
چیکار کنم که موقع خرید و پرداخت آنلاین به مشکل نخورم؟
برای اینکه در زمان پرداخت آنلاین به مشکل برخورد نکنید باید V P N خاموش باشه و از مرورگرهای موزیلا فایرفاکس و کروم استفاده کنید. و ضمنا در صفحه "پیش فاکتور خرید" مشخصات خودتون رو به شکل صحیح وارد کنید. این موضوع رو در نوشتن ایمیل هم در نظر داشته باشید که ایمیلی که فعال هست و بهش دسترسی دارید رو بنویسید. ایمیل صحیح به این شکله filenab.com@gmail.com
نظرت در مورد این محصول چیه؟